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所谓净化车间,又称“洁净车间”、“无尘车间”,是指把一定范围内空气中的污染物排除,并把温湿度、气流度、室内压力、噪音振动控制在特定范围内的特别设计的房间。广泛应用于电子、食品等行业。
电子无尘车间的设计要求如下:
电子无尘车间
(1)平面由工艺决定,电子洁净室的工艺布局应适应电子产品发展的灵活性,满足产品生产工艺改造和扩大生产的需求。
主体结构应采用大空间、大跨度柱网,不宜采用内墙承重体系。
大型企业电子信息工业发展洁净厂房常采用上互联网技术夹层、下技术夹层这种“夹心”式多层构造。
应考虑大型生产工艺设备的安装和维护要求,设置不影响清洁生产环境的必要运输通道和安装或维护口。
(5)电子工业无尘车间按二级耐火等级设计。
(6)特种气体的储存和分配间应有耐火隔墙与洁净室(区)分开,该墙耐火极限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物气瓶区至少三面是敞开的,气瓶与周围构筑物或围栏之间的距离应大于3M,储存设置的雨蓬应不低于3.5M。
电子工业洁净室的装饰材料不得采用释放对电子产品有影响物质的材料。
电子工业洁净室允许设空气吹淋室,这是和一般生物洁净室不同的。淋浴房应与干净工作服的更衣室相邻。单人吹淋室按大班幼儿人数为30人一间设计,当工作管理人员可以超过5人时,应设旁门,当人数没有太多或为了能够缩短学习时间,也可设隧道式吹淋室。
(9)对于高级别洁净室,为了尽可能不影响气流的单向性、平行性,照明灯具采用净化泪珠形灯具。
(10)常要根据生产工艺要求设置防静电环境,以便抑制静电的产生,将已产生的静电迅速、安全的排除。
(11)电子工业无尘车间友有对防微振的特殊要求,在厂地环境上应避开振动源。
电子工业洁净室除有一般给排水要求外,对超大规格集成电路的用水也有标准。